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P型 单晶硅片

0.4-1.1 <Ω·cm>

电阻率

≤16 <ppma>

氧含量

≤1 <ppma>

碳含量

≥70 <µs>

少子寿命

质料性能

项目 规格 检测要领
生长方式 直拉法 --
结晶性 单晶 --
导电类型 P型 PN测试仪
尺寸 M10:::182.2×182.2 φ247 mm
G12:::210×210 φ295 mm
硅片分选机
厚度 M10:::90-160 ?m
G12:::90-160 ?m
硅片分选机

电性能

项目 规格 检测要领
电阻率 0.4-1.1 <Ω·cm> 硅片分选机
少子寿命 ≥70 少子寿命测试仪BCT-400
氧含量 ≤16 傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量 ≤1 傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F123-91)

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