N-Typ monokristalliner Siliziumwafer

Beherrschung einer R

0.6-1.6 <Ω·cm>

Spezifischer Widerstand

≤12 <ppma>

Sauerstoffgehalt

≤1 <ppma>

Kohlenstoffgehalt

≥800 <µs>

Minorit?tstr?ger-Lebensdauer

0.6-1.6 <Ω·cm>

Spezifischer Widerstand
≤12 <ppma>

Sauerstoffgehalt
≤1 <ppma>

Kohlenstoffgehalt
≥800 <µs>

Minorit?tstr?ger-Lebensdauer

Materialeigenschaften

Position

Spezifikationen

Prüfverfahren
Wachstumsmethode

Streckziehverfahren

--
Kristallinit?t

Einkristall

--
Leitf?higkeits-Typ

N-Typ

PN-Tester
Ma?e

M10：182.2*182.2*φ247mm
G12：210*210*φ295mm
G12-R：182.3*210*φ272mm

Siliziumwafer-Sortierer
Dicke

M10：90-160?m
G12：90-160?m
G12-R：90-160?m

Siliziumwafer-Sortierer

Position	Spezifikationen	Prüfverfahren
Wachstumsmethode	Streckziehverfahren	--
Kristallinit?t	Einkristall	--
Leitf?higkeits-Typ	N-Typ	PN-Tester
Ma?e	M10：182.2182.2φ247mm G12：210210φ295mm G12-R：182.3210φ272mm	Siliziumwafer-Sortierer
Dicke	M10：90-160?m G12：90-160?m G12-R：90-160?m	Siliziumwafer-Sortierer

Elektrische Eigenschaften

Position

Spezifikationen

Prüfverfahren
Spezifischer Widerstand

0.6-1.6<Ω·cm>

Siliziumwafer-Sortierer
Minorit?tstr?ger-Lebensdauer

≥800<µs>

Lebensdauer-Tester BCT-400
Sauerstoffgehalt

≤12<ppma>

Fourier-Transform-Infrarot- Spektroskopie
FTIR (ASTM F121-83)
Kohlenstoffgehalt

≤1<ppma>

Fourier-Transform-Infrarot- Spektroskopie
FTIR (ASTM F123-91)

Position	Spezifikationen	Prüfverfahren
Spezifischer Widerstand	0.6-1.6<Ω·cm>	Siliziumwafer-Sortierer
Minorit?tstr?ger-Lebensdauer	≥800	Lebensdauer-Tester BCT-400
Sauerstoffgehalt	≤12	Fourier-Transform-Infrarot- Spektroskopie FTIR (ASTM F121-83)
Kohlenstoffgehalt	≤1	Fourier-Transform-Infrarot- Spektroskopie FTIR (ASTM F123-91)

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