P-Typ monokristalliner Siliziumwafer

Beherrschung einer R

0.4-1.1 <Ω·cm>

Spezifischer Widerstand

≤16 <ppma>

Sauerstoffgehalt

≤1 <ppma>

Kohlenstoffgehalt

≥70 <µs>

Minorit?tstr?ger-Lebensdauer

0.4-1.1 <Ω·cm>

Spezifischer Widerstand
≤16 <ppma>

Sauerstoffgehalt
≤1 <ppma>

Kohlenstoffgehalt
≥70 <µs>

Minorit?tstr?ger-Lebensdauer

Materialeigenschaften

Position

Spezifikationen

Pr��fverfahren
Wachstumsmethode

Streckziehverfahren

--
Kristallinit?t

Einkristall

--
Leitf?higkeits-Typ

P-Typ

PN-Tester
Ma?e

M10��182.2*182.2*��247mm
G12��210*210*��295mm

Siliziumwafer-Sortierer
Dicke

M10��90-160?m
G12��90-160?m

Siliziumwafer-Sortierer

Position	Spezifikationen	Pr��fverfahren
Wachstumsmethode	Streckziehverfahren	--
Kristallinit?t	Einkristall	--
Leitf?higkeits-Typ	P-Typ	PN-Tester
Ma?e	M10��182.2182.2��247mm G12��210210��295mm	Siliziumwafer-Sortierer
Dicke	M10��90-160?m G12��90-160?m	Siliziumwafer-Sortierer

Elektrische Eigenschaften

Position

Spezifikationen

Pr��fverfahren
Spezifischer Widerstand

0.4-1.1 <Ω·cm>

Siliziumwafer-Sortierer
Minorit?tstr?ger-Lebensdauer

≥ 70 <µs>

Lebensdauer-Tester BCT-400
Sauerstoffgehalt

≤16<ppma>

Fourier-Transform-Infrarot-Spektroskopie
FTIR (ASTM F121-83)
Kohlenstoffgehalt

≤1<ppma>

Fourier-Transform-Infrarot- Spektroskopie
FTIR (ASTM F123-91)

Position	Spezifikationen	Pr��fverfahren
Spezifischer Widerstand	0.4-1.1 <��cm>	Siliziumwafer-Sortierer
Minorit?tstr?ger-Lebensdauer	�� 70	Lebensdauer-Tester BCT-400
Sauerstoffgehalt	��16	Fourier-Transform-Infrarot-Spektroskopie FTIR (ASTM F121-83)
Kohlenstoffgehalt	��1	Fourier-Transform-Infrarot- Spektroskopie FTIR (ASTM F123-91)

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